洁净室检测状态之—空态、静态、动态 Clean Room — IQ、OQ、PQ
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术语：
在洁净厂房设计规范中GB50073-2001中给洁净室的三种状态做了以下定义：
空态 as-built
设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
静态 at-rest
设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。
动态 operational
设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下：
空态洁净室的检测——Installation qualificafion(IQ)
静态洁净室的检测——Operational qualificafion(OQ)
动态洁净室的检测——Performance qualificafion(PQ)
_______________________________________
洁净室检测状态之—空态、静态、动态 Clean Room — IQ、OQ、PQ
空态洁净室的检测(IQ)
检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点：
1、洁净室设备的成套性；
2、一切能源载体和工艺介质的供应（水、电、蒸汽、压缩空气、气体等）是否符合设计；
3、公用和辅助设备 功能运转是否正确；
4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定（检查）日期；
5、安装质量；
6、安装过滤器（*终过滤器） 的完整性；
7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量；
8、压 差；
9、气流特性（单向气流——流速，均匀性和气流方向）；
10、维护结构的密闭性；
11、检查循环空气与室外空气的比 例是否符合设计；
12、表面洁净度；
13、包装中是否有备件。
检查HEPA（ULPA）过滤器的完整性具有重要意义，此项检查对ISO6级、ISO5级及更**别的洁净室来说尤其必要。 应检查表面洁净度及维护结构的密闭性（对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要）。
洁净室检测状态之—空态、静态、动态 Clean Room — IQ、OQ、PQ
静态洁净室的检测(OQ)
本阶段的检测至少应完成下列各项工作：
1、确认洁净区划分原则是否符合要求；
2、确定洁净室在经过污染水平升高后的自净时间参数；
3、确定保 持温度和相对湿度的稳定性；
4、按粒子数确定洁净度级别；
5、确定压差；
6、在必要的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁 净度；
7、确定照度；
8、确定噪声级；
9、利用必要的工具目视检查气流并检查换气次数（必要时）；
10、将取得数据结果 写成书面文件。
动态洁净室的检测(PQ)
为了评估动态洁净室工作的稳定性：
1、验证洁净室分割制度；
2、评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力；
3、按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度 （必要时）；
4、验证压差；
5、按粒子数和微生物数量确定表面洁净度（必要时）；
6、检查洁净室运行文件的成套性，其中包括参数 的检查方法，洁净室工作事故及采取的措施等，是否有基本的规程，如洁净室清扫、更衣、人员卫生等方面的规程等；
7、检查人员是否经过培训，是否有 培训体系和相应的文件；
必要时还要检查振动强弱，空气电离程度，电磁场强度。可根据洁净室的特点改变测试的具体内容。
在使用过程中，应对洁净室的参数进行日常监控，监控要有一定的周期性，洁净室用户可根据规范文件的要求确定这种周期性
检测可在洁净室工作过程中进行（重复检测）；
发生下列各项后需进行重复检测：
1、洁净室达不到给定参数的原因已消除；
2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异（如改变工艺流程等）；
3、空气长时间
洁净室检测状态之—空态、静态、动态 Clean Room — IQ、OQ、PQ 停止流通（进风）而影响洁净室工作；
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术语：
在洁净厂房设计规范中GB50073-2001中给洁净室的三种状态做了以下定义：
空态 as-built
设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
静态 at-rest
设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。
动态 operational
设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下：
空态洁净室的检测——Installation qualificafion(IQ)
静态洁净室的检测——Operational qualificafion(OQ)
动态洁净室的检测——Performance qualificafion(PQ)
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空态洁净室的检测(IQ)
检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点：
1、洁净室设备的成套性；
2、一切能源载体和工艺介质的供应（水、电、蒸汽、压缩空气、气体等）是否符合设计；
3、公用和辅助设备 功能运转是否正确；
4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定（检查）日期；
5、安装质量；
6、安装过滤器（*终过滤器） 的完整性；
7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量；
8、压 差；
9、气流特性（单向气流——流速，均匀性和气流方向）；
10、维护结构的密闭性；
11、检查循环空气与室外空气的比 例是否符合设计；
12、表面洁净度；
13、包装中是否有备件。
检查HEPA（ULPA）过滤器的完整性具有重要意义，此项检查对ISO6级、ISO5级及更**别的洁净室来说尤其必要。 应检查表面洁净度及维护结构的密闭性（对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要）。
静态洁净室的检测(OQ)
本阶段的检测至少应完成下列各项工作：
1、确认洁净区划分原则是否符合要求；
2、确定洁净室在经过污染水平升高后的自净时间参数；
3、确定保 持温度和相对湿度的稳定性；
4、按粒子数确定洁净度级别；
5、确定压差；
6、在必要的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁 净度；
7、确定照度；
8、确定噪声级；
9、利用必要的工具目视检查气流并检查换气次数（必要时）；
10、将取得数据结果 写成书面文件。
动态洁净室的检测(PQ)
为了评估动态洁净室工作的稳定性：
1、验证洁净室分割制度；
2、评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力；
3、按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度 （必要时）；
4、验证压差；
5、按粒子数和微生物数量确定表面洁净度（必要时）；
6、检查洁净室运行文件的成套性，其中包括参数 的检查方法，洁净室工作事故及采取的措施等，是否有基本的规程，如洁净室清扫、更衣、人员卫生等方面的规程等；
7、检查人员是否经过培训，是否有 培训体系和相应的文件；
必要时还要检查振动强弱，空气电离程度，电磁场强度。可根据洁净室的特点改变测试的具体内容。
在使用过程中，应对洁净室的参数进行日常监控，监控要有一定的周期性，洁净室用户可根据规范文件的要求确定这种周期性
检测可在洁净室工作过程中进行（重复检测）；
发生下列各项后需进行重复检测：
1、洁净室达不到给定参数的原因已消除；
2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异（如改变工艺流程等）；
3、空气长时间 停止流通（进风）而影响洁净室工作；
4、做了影响洁净室工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后。
4、做了影响洁净室工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后。